Röntgenmikroskopie

Dem Gerätezentrum steht eine Mikro-CT und ein Röntgenmikroskop (Nano-CT) zur Verfügung, die gemeinsam skalenübergreifend die dreidimensionale zerstörungsfreie Untersuchung eines Werkstoffes ermöglichen.

Labor mit einem Rasterelektronenmikroskop und Arbeitsplatz mit mehreren Bildschirmen.
© Jonas FellXRM-II nanoCT

Nano-CT

Das XRM-II nanoCT ist ein REM-basiertes Röntgengerät, welches auf einem  JEOL JSM 7900F aufgebaut ist. Der Elektronenstrahl des REMs wird auf ein Nadeltarget fokusiert, welche als Röntgenquelle für den CT-Betrieb dient. Wird die Probe zwischen die Röntgenquelle und einen photonenzählenden Röntgendetektor positioniert, können Radiographien mit einer Voxelgröße von 1 µm bis 50 nm aufgenommen werden. Typisches Probenmaterial sind dabei Zylinder mit einem Durchmesser von 100 – 500 µm. Neben den Durchstrahlungsbildern und dem daraus rekonstruierten Volumen lassen sich auch die Signale von SEM und EDX korrelativ zur Strukturaufklärung nutzen.

Betriebsmodus Elektronenmikroskopie:

  • In-lens Schottky Feldemissionsquelle
  • Auflösung: 0,6 nm (15 kV)
  • Beschleunigungsspannung: 0,01 – 30 kV
  • Probenstrom: bis 1 µA
  • In-Lens Detektor
  • Kontrast: Sekundärelektronen- und Rückstreuelektronenkontrast
  • Energiedispersive Röntgenspektroskopie (EDX)

Betriebsmodus CT:

  • Röntgenenergie: 1 - 30 kV
  • Targetmaterial: W, Cr (variabel)
  • Anzahl der Pixel des Röntgendetektors: 1280 x 512
  • Pixelgröße: 55 µm
  • Probengeometrie: Zylinder von 30 - 500 µm
  • Voxelgröße: 50 - 1000 nm
 

Anfragen beantwortet:

M.Sc. Jonas Fell

 

Das XRM-II nanoCT wurde im Rahmen der DFG-Großgeräteinitiative beschafft.