Transmissionselektronenmikroskopie

JEOL JEM-F200

Das Transmissionselektronenmikroskop JEOL JEM-F200 ist mit einer Feldemissionsquelle ausgestattet, die sich durch ihre hohe Stabilität und Energieauflösung auszeichnet.  Die Anlage kann mit einer Beschleunigungsspannung von 20-200 kV betrieben werden und erreicht aufgrund der geringen chromatischen Aberration ein Auflösungsvermögen von 0,1 nm. Zwei großflächige Silizium-Drift-EDS-Detektoren ermöglichen selbst von strahlungsempfindlichen Proben schnelle EDS-Mappings. Neben STEM mit BF, DF oder HAADF-Detektor können auch Nanobeam DIffration oder EELS durchgeführt werden.

Technische Daten

• Feldemissionsquelle FEG: 0,275 eV FWHM
• Beschleunigungsspannung: 200 kV
• Auflösung:
  • TEM: Gitter 0,1 nm
  • STEM-HAADF: 0,14 nm
• Vergrößerung:
  • TEM: x20 bis x2 M
  • STEM: x200 bis x150 M
• CEOS CEFID FIltersystem für EFTEM und EELS
• 4K CMOS Kamera
• 2x 100 mm² EDS-Detektoren

Modi

• TEM
• STEM mit BF/DF/HAADF-Detektor
• STEM NBD (Nano Beam Diffraction)
• EELS (Electron Energy Loss Spectroscopy)
• EDS (Energy Dispersive Spectrometry)
• CBD (Convergent Beam Diffraction)

Probenhalter

• Einfachkipp-Verformungshalter
• Doppelkipp-Heizhalter
• Tomographiehalter